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應用原理:
在使用油擴散泵、分子泵抽真空的過程中,空間中80%以上的殘余氣體是水蒸氣、油蒸氣以及一些高沸點的蒸汽,這類殘余氣體在高真空狀態下,抽取難度大、速度慢,而且殘余氣體的存在不僅會影響真空度也會污染生產實驗工件,深冷機可有效解決這類問題,在真空度 10-2至 10-8 pa 之間快速吸附真空腔內殘余水汽和油氣,提高真空度、提高產品品質,加快抽速提高生產效率。
17、成本回收時間短
真空深冷機型號規格:
型號 LC-1100D12 LC-1100D16 LC-1100D16L LC-1100D18 LC-1100D18L 功率(KW) 10 14 14 18 18 *大制冷量(W)(-100℃) 2000 3000 3000 4000 4000 電源 380V,50HZ 抽速L/S 149200 238200 238200 372500 282000 預冷時間(min) 30 除霜時間(min) ≤3 ≤3 ≤3 ≤4 ≤4 再降溫時間(min) ≤3 ≤3 ≤3 ≤3 ≤3 低溫管表面積(㎡) 1 1.8 1.5 2.5 2 低溫管規格 20m 38m 雙路15m 50m 雙路20m 冷卻方式 水冷,水溫≤30℃ 冷水流量(t/h) 1.6 2.5 2.5 3 3 冷水接口尺寸(mm) 16 16 16 19 19 需冷水機功率(HP) 5 8 8 10 10 適用油泵直徑(mm) ≤800 ≤900 ≤600 1000或1200 ≤800 適用真空腔室直徑(mm) ≤1300 ≤1500 ≤1000 ≤1800 ≤1500 真空深冷機適用領域: 1半導體 2太陽能薄膜制程 3光纖市場 4平板顯示 5裝飾鍍膜、卷繞鍍膜、光學鍍膜