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適合于無塵室1000級以上的烘烤制程,產品在加熱過程中,容易產生氧化的加工物及防止微塵附著,均建議用此烤箱烘烤,以電子產業中的祛除水份、膠干燥、調質、預熱為主。如IC封裝前后制程、晶圓烘烤、LCD配向應用等……